EDX-LE能量色散X射線分析是X射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級X射線,不同元素發(fā)射出來的特征X射線波長不同,能量也不同。利用X射線能量不同而展譜一般稱為X射線能譜分析或能量色散X射線分析,所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。
EDX-LE能量色散X射線分析的主要單元是半導(dǎo)體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征X射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠(yuǎn)不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn),和通用的X射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進(jìn)行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣。
根據(jù)分光方式的不同,X射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類,也就是通常所說的能譜儀和波譜儀,縮寫為EDXRF和WDXRF。通過測定熒光X射線的能量實(shí)現(xiàn)對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析,相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀,通過測定熒光X射線的波長實(shí)現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
就能量色散型儀器而言,根據(jù)選用探測器的不同,X射線熒光分析儀可分為半導(dǎo)體探測器和正比計(jì)數(shù)管兩種主要類型。根據(jù)分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個別元素分析儀器。這種稱呼多用于能量色散型儀器。
X射線熒光分析不僅材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。也是X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面常選儀器之一。同時,成為地質(zhì)、冶金、建材、石油化工、半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域的重要分析手段。