在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中,能量色散X射線分析(Energy Dispersive X-ray Analysis,EDX或EDXA)作為一種重要的元素分析技術(shù),因其快速、無損以及對樣品需求低的特點(diǎn),在材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、環(huán)境科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮著*作用。
能量色散X射線分析基于X射線熒光(X-Ray Fluorescence,XRF)原理。當(dāng)高能X射線照射到樣品表面時(shí),原子內(nèi)部的電子會被激發(fā)至高能級,隨后躍遷回低能級時(shí)會釋放出特征X射線,即X射線熒光。這些特征X射線的能量與其原子序數(shù)直接相關(guān),因此通過檢測并分析這些X射線的能量分布,就能準(zhǔn)確識別樣品中的化學(xué)元素及其含量。
在實(shí)際應(yīng)用中,能量色散X射線分析儀通常作為掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)或透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)的附件使用,實(shí)現(xiàn)從微觀尺度上進(jìn)行精確的元素分布和定量分析。此外,獨(dú)立的便攜式能量色散X射線分析設(shè)備也在現(xiàn)場勘查、礦產(chǎn)資源評估、環(huán)保污染物監(jiān)測、產(chǎn)品質(zhì)量控制等方面展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。
能量色散X射線分析具有諸多優(yōu)點(diǎn):首先,它無需復(fù)雜的樣品預(yù)處理,可以對固體、粉末、液體甚至薄膜等各種形態(tài)的樣品進(jìn)行直接分析;其次,其分析速度快、測量精度高,能夠有效滿足實(shí)驗(yàn)室及現(xiàn)場實(shí)時(shí)分析的需求;再者,該技術(shù)能夠同時(shí)測定多種元素,且對輕元素也有較好的檢測能力,這在多元復(fù)雜體系的研究中尤為重要。