能量色散X射線分析是確認(rèn)物質(zhì)中微量元素的品種和含量的一種辦法，又稱X射線次級(jí)發(fā)射光譜剖析，是使用原級(jí)X射線光子或其它微觀粒子激起待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級(jí)的特征X射線(X光熒光)而進(jìn)行物質(zhì)成分剖析和化學(xué)態(tài)研討。

 

　　原理

 

　　能量色散X射線分析時(shí)，試樣能夠被激起出各種波長(zhǎng)的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(zhǎng)(或能量）分開，別離丈量不同波長(zhǎng)(或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量剖析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。

 

　　原子結(jié)構(gòu)由原子核及核外電子組成，每個(gè)核外電子都以特定的能量在固定軌道上運(yùn)行。當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子產(chǎn)生磕碰時(shí)，驅(qū)趕一個(gè)內(nèi)層電子(如:K層)而出現(xiàn)一個(gè)空穴，使整個(gè)原子結(jié)構(gòu)處于不穩(wěn)定狀況，較外層電子(如:L層)就會(huì)自發(fā)地躍遷到內(nèi)層來填充這個(gè)空穴。不同殼層之間存在能量差(如:LE=EL-EK)，當(dāng)躍遷過程中能量差以二次X射線的形式釋放出來時(shí)就能夠發(fā)射特征X射線熒光。

 

　　每一種元素都有其特定波長(zhǎng)（或能量）的特征X射線。由Moseley定律可知，元素的熒光X射線的波長(zhǎng)(λ）隨元素的原子序數(shù)(Z)添加，有規(guī)則地向短波方向移動(dòng)。

 

　　(1/λ)1/2=K(Z-S)

 

　　上式中K、S為常數(shù)，隨譜系(L、K、M、N)而定。經(jīng)過測(cè)定樣品中熒光X射線的波長(zhǎng)，就能夠確認(rèn)樣品中元素的品種信息。這就是X射線熒光光譜定性剖析。

 

　　元素特征X射線的強(qiáng)度與該元素在樣品中的原子數(shù)量成份額。經(jīng)過丈量樣品中某種元素?zé)晒釾射線的強(qiáng)度，采用適當(dāng)?shù)霓k法進(jìn)行校準(zhǔn)與校對(duì)，就能夠求出該元素在樣品中的百分含量。這就是X射線熒光光譜定量剖析。